| |
| 발카 제품번호 |
제품명칭 |
내용 |
용도 |
| 3DW |
다이나믹벨로우즈 |
각종금속 박판을 단면이 S형 Y형 등의 링형상으로 성형후 내경 및 외경을 용접가공한 금속벨로우즈입니다. |
실리콘 단결정제조장치(CZ법 FZ법)의 진공구동부씰 및 진공밸브의 씰 |
| 3DG |
대구경게이트밸브 |
One Action씰기구를 채용하여 역압력대응이 가능한 게이트밸브입니다. |
각종 액정제조장치 기타 진공장치 등의 챔버사이(대구경도어부).
도어 사이즈가 폭600mm이상의 장치에 대응. |
| 3DU |
다이나믹벨로우즈 실린더 |
다이나믹벨로우즈 M시리즈를 구동부씰에 사용한 클린성 내식성 내구성이 우수한 로드씰의 실리더입니다. |
각종 반도체 제조잧이 각종 액정제조장치 기타 진공장치 등의 챔버내의 구동부. |
| 3DU |
클린볼트 |
JIS B 1176스테인레스강 육각구멍의 볼트
（강종A2）에 특수 연마처리를 행한 공기구멍이 달린 볼트로 방출가스량이 적고 표면에 유지분 등의 부착이 없습니다.
또한 표면조도가 매끄러워 물림현상이
일어나기 어렵습니다. |
각종 반도체제조장치 각종 액정제조장치 기타 진공장치 분석기기 등의 진공영역 |
| 3640 |
메탈중공오링 |
금속관을 엔드리스가공한 금속중공오링입니다. 필요에 따라서는 도금 등의 표면코팅이 가능합니다. |
불순물 주입장치,
성막장치 등 |
| 3645 |
트라이팩 |
코일스프링을 탄성요소로하여 이것을 알루미늄 등의 얇은 금속판으로 피복한 금속C링입니다. |
| 3645LS |
저체결트라이팩 |
낮은 체결부하로도 소정의 기밀성을 얻을 수 있도록 종래의 트라이팩의 상하씰면에 V홈 가공을 행하여 씰면의 적응도를 개선한 가스켓. |
| 560 |
고순도산소
동가스켓 |
진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지용 가스켓. |
진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지 |
| 4640 |
불소고무오링 |
불소고무를 단면 오링 형상으로 성형한 것입니다. 백색, 차색 등의 컬러오링도 있습니다. |
실리콘 단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 지공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등 |
HOME > 제품소개> 진공기기
